De eerste Regierungsbezirke werden in 1808/16 gecreëerd door het Koninkrijk Pruisen, dat zijn provincies in 25 Regierungsbezirke verdeelde. De Regierungsbezirke van Noordrijn-Westfalen liggen in het verlengde van de in 1815 opgerichte Regierungsbezirke. Andere deelstaten van het Duitse Rijk stichtten soortgelijke entiteiten, Kreishauptmannschaft (in Saksen) of Kreis (in Beieren en Württemberg) genoemd (niet te verwarren met de huidige Kreis of Landkreis). Tijdens het Derde Rijk bracht de nazi-regering de naamgeving op één lijn; sindsdien worden al deze entiteiten Regierungsbezirk genoemd.
Op 1 januari 2000 heeft Rijnland-Palts zijn drie Regierungsbezirke Koblenz, Rheinhessen-Pfalz en Trier opgeheven - de werknemers en activa van de drie Bezirksregierungen werden omgevormd tot drie overheidsinstanties die verantwoordelijk zijn voor de hele deelstaat en elk een deel van de vroegere bevoegdheden van de Bezirksregierung overnemen.
Op 1 januari 2004 heeft Saksen-Anhalt zijn drie Regierungsbezirke opgeheven: Dessau, Halle en Magdeburg. De bevoegdheden worden nu waargenomen door een Landesverwaltungsamt met drie kantoren op de voormalige zetels van de Bezirksregierungen.
Op 1 januari 2005 heeft Nedersaksen zijn vier Regierungsbezirke opgeheven: Braunschweig, Hannover, Lüneburg en Weser-Ems.
In 2005 was Noord-Rijnland-Westfalen van plan zijn vijf Regierungsbezirke af te schaffen en drie entiteiten voor zelfbestuur op te richten. Het oude "Pruisische" Regierungsbezirk had geen organen voor zelfbestuur.
