Fotolithografie is de combinatie van fotografie en lithografie. Het wordt onder meer gebruikt voor het in massa afdrukken van foto's. Microfotolithografie is het gebruik van fotolithografie om geometrische vormen op een fotomasker over te brengen naar het oppervlak van een halfgeleiderwafer voor het maken van geïntegreerde schakelingen.
Fotolithografie
Productie
Fotolithografie maakt geïntegreerde schakelingen zoals geheugen en centrale verwerkingseenheden.
Een speciaal licht- en schaduwpatroon wordt door een fotomasker op een vel of wafer silicium geschenen dat bedekt is met een materiaal dat fotoresist wordt genoemd. Het licht verhardt de fotolak. Wanneer de plaat in een speciaal zuur wordt gedompeld, worden de delen waar geen licht op viel, opgelost.
Geheugenchips hebben duizenden of miljoenen identieke cellen. Omdat RAM-chips veel gemakkelijker te maken zijn dan een CPU (een grote matrijs met een niet-repetitieve structuur), zijn ze veel goedkoper dan processoren.